6 高倍率縮小システムの考慮事項

DLP テクノロジーを採用したコンシューマプロジェクションシステムでは、通常図 6-1 に示される照明設計を用います。

図 6-1 一般的なプロジェクションシステム光学系

しかし、一部のリソグラフィーおよび 3D プリントシステムでは、DMD アレイ像を倍率縮小して、1µm 程度の非常に小さな微細構造に対応することが可能です。図 6-2 は、従来のプロジェクション光学系に対するこれらのシステムの小型出力開口の大きさを示しています。

図 6-2 投影レンズ入射瞳における光分布

これら比較的小型の開口に対する考慮事項は、非コヒーレント光源とコヒーレント光源の 2 つの分野に分けられます。