半導体製造

Products and reference designs

設計上の考慮事項

TI の IC とリファレンス・デザインは、高精度のプロセス制御と品質管理を想定した高精度半導体製造装置の設計に貢献します。

新世代の半導体製造装置の要件:

  • クリーンルーム環境での使用を想定した総合的な自動制御能力。
  • 各製造ステップを実施する間の移動、位置決め、整列に関する高精度制御。
  • 品質管理用途を想定した、高精度、サブミクロン (1μm 未満) 対応のジオメトリ測定能力。
  • 画像処理と画像分析向けの強力なデジタル処理モジュール。
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技術資料

アプリケーション・ノート

アプリケーション・ノート (4)

タイトル 種類 サイズ (KB) 日付 英語版
PDF 697 KB 07 Apr 2021
PDF 2.75 MB 30 Sep 2020
PDF 8.6 MB 20 Jun 2016
PDF 132 KB 16 Apr 2015

製品カタログ/ホワイト・ペーパー

ホワイト・ペーパー (3)

タイトル 種類 サイズ (MB) 日付 英語版
PDF 688 KB 01 Feb 2018
PDF 3.07 MB 01 Aug 2016
PDF 2.13 MB 31 Mar 2016

技術記事

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