JAJAA78 October 2025 HDC3020
4.6.4 化学物質による汚染の影響を軽減：クリーニング
RH センサの清掃は繊細な手順であり、経験豊富な作業員のみが行う必要があります。これは、感湿ポリマ上に固体または液体の汚染が目に見える場合にのみ有効であり、放出された VOC などの気体状汚染物は洗浄では除去できません。図 4-10 に、綿棒を使用してセンシング ポリマの上面を清掃する方法を示します。手動クリーニングは RH センサを損傷するおそれがあるため、最初のトラブルシューティング手順として実施すべきではありません。
センサを手動でクリーニングすると、堆積化学物質の汚染を大幅に改善できますが、トラブルシューティングの目的でのみ使用してください。クリーニングが大量のデバイスで行われた場合、センサへの損傷の危険性が大幅に増加します。洗浄は、付着した化学物質が RH の精度誤差を引き起こしているかどうかを特定するために使用し、その化学物質が製造工程や最終製品の使用環境で発生しないようにする目的で行うべきです。
図 4-10 HDC 手動クリーニングの例以下の手順では、RH センサの検知キャビティを安全に清掃する手順について説明します：
PCB 洗浄剤やイソプロピルアルコールなどの化学的洗浄剤は使用しないでください。
綿棒を蒸留水で軽く湿らせます。綿棒は湿っているはずですが、滴下していません。
RH センサのキャビティの内部を慎重に清掃します。センシング ポリマに直接圧力をかけないようにし、できるだけ軽く拭きます。
キャビティ内に残留水が残っていないことを確認します。
センサの側面に水がこぼれることは避けてください。PCB が電気的な短絡につながる可能性があります。
表面に向けた低圧圧縮空気を使用して、センサを乾かします。
超音波洗浄機は使用しないでください。浸漬や振動によってセンサが損傷し、特にサーマル パッドがはんだ付けされていない場合には、デバイス下部への水の侵入を引き起こすおそれがあります。
顕微鏡を使用してセンシング ポリマを観察し、固体汚染物質が除去されていないか確認します。