マイクロミラー アレイの温度は、パッケージ外部の測定点、パッケージの熱抵抗、電力消費、および照明による熱負荷から解析的に算出できます。マイクロミラー アレイの温度と基準セラミック温度との関係は、以下の式で示されます。
TMAX_ARRAY = TCERAMIC + (QARRAY × RMAX_ARRAY-TO-CERAMIC)
TMIN_ARRAY = TCERAMIC + (QARRAY × RMIN_ARRAY-TO-CERAMIC)
TDELTA_MIN = [minimum of TP2 or TP3] – TMAX_ARRAY
TDELTA_MAX = [maximum of TP2 or TP3] – TMIN_ARRAY
QARRAY = QELECTRICAL + QILLUMINATION
ここで、
- TARRAY = 算出されたアレイ温度 (°C)
- TCERAMIC = 測定されたアレイ温度 (°C) (TP1 の場所)
- RARRAY-TO-CERAMIC = アレイからセラミック TP1 までのパッケージの熱抵抗 (℃/ワット)
- Q ARRAY =アレイ上の DMD 全体の消費電力 (ワット) (電力+吸収光)
- QELECTRICAL = 公称電力
- QINCIDENT = DMD に入射する光の総光学パワー
- QILLUMINATION = (DMD 平均熱吸収率 × QINCIDENT) (セクション 5.4を参照。)
- DMD の平均熱吸収率 (オン状態) = 0.26
- DMD の平均熱吸収率 (オフ状態) = 0.42
DMD の消費電力は変数で、電圧、データ レート、動作周波数に依存します。アレイ温度を計算するには、DMD の電力損失(QELECTRICAL)として 9.5 ワットの値を使用します。照射用光源から吸収される電力は変数で、マイクロミラーの動作状態と光源の強度に依存します。上記の式は、システム内の各 DMD チップに対して有効です。この想定では、アクティブ アレイで 91.0%、アレイ境界で 9.0% の照度分布を想定しています。
オフ状態およびオン状態のサンプル計算を以下に示します。